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罗茨旋片真空机组

型号 主泵 前级泵 抽气速率 极限压力 配用功率
L/s Pa Torr kW
JZP2X70-5 JZP70 2X-15
70 1*10-2 8*10-5 3.3
JZP2X150-5 JZP150 2X-30
150 1*10-2 8*10-5 5.2
JZP2300-4 JZP300 2X-70
300 1*10-2 8*10-5 9.5
JZPX300-3 JZP300 X-100
300 1*10-1 8*10-4 11.5

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